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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A SEMICONDUCTOR BODY WITH A BURIED SILICIDE LAYER
摘要
申请公布号
EP0504987(A3)
申请公布日期
1992.10.21
申请号
EP19920200708
申请日期
1992.03.12
申请人
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN
发明人
VAN OMMEN, ALFRED HENDRIK;OTTENHEIM, JOZEF JACOBUS MARIA;DE KEMPENEER, ERIK HENDRIK ADOLF;VAN HOFTEN, GERRIT CORNELIS
分类号
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/334;H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/324
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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