发明名称 THIN FILM LAMINATED DEVICE SUBSTRATE AND THIN FILM LAMINATED DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH04290480(A) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 JP19910080756 申请日期 1991.03.19
申请人 RICOH CO LTD 发明人 YAMADA KATSUYUKI;KONDO HITOSHI;OTA HIDEKAZU;KIMURA YUJI;TAKAHASHI MASAYOSHI;KAMEYAMA KENJI;TANABE MAKOTO
分类号 H01L21/312;H01L49/02 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
地址