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发明名称 NAPHTHOCHINONDIAZID-SULFONSAEURE-MISCHESTER ENTHALTENDES GEMISCH UND DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL
摘要
申请公布号 DE4111444(A1) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 DE19914111444 申请日期 1991.04.09
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 SCHELER, SIEGFRIED, DR., 6200 WIESBADEN, DE;ZAHN, WOLFGANG, DR., 6228 ELTVILLE, DE;SCHMITT, AXEL, DR., 6229 WALLUF, DE;BUHR, GERHARD, DR., 6240 KOENIGSTEIN, DE
分类号 G03F7/00;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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