发明名称 SWITCH CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04286969(A) 申请公布日期 1992.10.12
申请号 JP19910051692 申请日期 1991.03.15
申请人 TOKYO ELECTRON IND CO LTD 发明人 HATANO TAMIO
分类号 G01R31/00;G05D1/00;G05D1/02;G06F3/02;H01H9/54;H02J13/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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