发明名称 WASHING-DRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04283925(A) 申请公布日期 1992.10.08
申请号 JP19910046382 申请日期 1991.03.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO TOMOHIRO
分类号 B08B11/02;H01L21/304 主分类号 B08B11/02
代理机构 代理人
主权项
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