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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04280419(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910104898 申请日期 1991.03.07
申请人 TOSHIBA CORP;TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 YAMAMOTO AKITO;AKU NAOHIKO;MASHITA NORIYOSHI;ABE MASAHARU;WATANABE SHINGO
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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