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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04279024(A) 申请公布日期 1992.10.05
申请号 JP19910000651 申请日期 1991.01.08
申请人 NEC CORP 发明人 HOTTA HITOSHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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