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摘要
申请公布号
JPH0462244(B2)
申请公布日期
1992.10.05
申请号
JP19840075064
申请日期
1984.04.16
申请人
MICRON MACHINERY
发明人
KOJIMA RIICHI
分类号
B28D5/02;B28D1/22;B28D5/00;H01L21/304
主分类号
B28D5/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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