发明名称 Verfahren zur Herstellung duenner Schichten
摘要
申请公布号 DE1188896(B) 申请公布日期 1965.03.11
申请号 DE1960S067659 申请日期 1960.03.21
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GAWEHN DR. HERBERT
分类号 C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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