发明名称 SCANNER FOR SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04274704(A) 申请公布日期 1992.09.30
申请号 JP19910036289 申请日期 1991.03.01
申请人 JEOL LTD 发明人 KITAMURA SHINICHI;SEKINE MASARU
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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