发明名称 |
SCANNER FOR SCANNING TUNNELING MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04274704(A) |
申请公布日期 |
1992.09.30 |
申请号 |
JP19910036289 |
申请日期 |
1991.03.01 |
申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
KITAMURA SHINICHI;SEKINE MASARU |
分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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