| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04272643(A) |
申请公布日期 |
1992.09.29 |
| 申请号 |
JP19910010413 |
申请日期 |
1991.01.31 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OSAKI SABURO;HAGIWARA KATSUTOSHI;UMEDA KOJI;TOTTORI ISAO;ABE HARUHIKO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
