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经营范围
发明名称
ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号
JPH04271286(A)
申请公布日期
1992.09.28
申请号
JP19910028178
申请日期
1991.02.22
申请人
FUJITSU LTD
发明人
IIZUKA KATSUHIKO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H02N13/00
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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