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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE; ITS MANUFACTURE; MOLDING APPARATUS USED FOR IT
摘要
申请公布号 JPH04269854(A) 申请公布日期 1992.09.25
申请号 JP19910053300 申请日期 1991.02.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 YAMADA TOMIO;NAKAMURA ATSUSHI;NISHI KUNIHIKO;YAMAZAKI KAZUO;OKA HIROTAKE;KOIZUMI KOJI;SAEKI JUNICHI
分类号 H01L21/56;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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