| 发明名称 |
VERTICAL TYPE HEAT-TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04269824(A) |
申请公布日期 |
1992.09.25 |
| 申请号 |
JP19910103693 |
申请日期 |
1991.02.26 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD |
发明人 |
SAKATA KAZUNARI |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B31/16;F27B11/00;F27B17/00;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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