| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A SEMI CONDUCTOR DEVICE USING SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0498663(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.23 |
| 申请号 |
EP19920301042 |
申请日期 |
1992.02.07 |
| 申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHIMADA, YASUNORI;MORIMOTO, HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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