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发明名称 PREPARATION OF CHARGED BEAM LITHOGRAPHY DATA
摘要
申请公布号 JPH04267323(A) 申请公布日期 1992.09.22
申请号 JP19910028194 申请日期 1991.02.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOYAMA KIYOMI;UMAGOE TOSHIYUKI;IKENAGA OSAMU
分类号 H01L21/027;G06F17/50 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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