发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04264771(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910045926 申请日期 1991.02.19
申请人 NEC CORP 发明人 FUTAMI HARUJI
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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