| 发明名称 |
PROCESS FOR REDUCING THE REFLECTIVITY OF SPUTTERED LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0429905(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.16 |
| 申请号 |
EP19900121327 |
申请日期 |
1990.11.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
JOSWIG, HELLMUT, DR. |
| 分类号 |
G02B1/11;C23C14/00;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/14;C23C14/54;H01L21/285 |
主分类号 |
G02B1/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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