发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THE QUANTITATIVE,DEPTH DIFFERENTIAL ANALYSIS OF SOLID SAMPLES WITH THE USE OF TWO ION BEAMS
摘要
申请公布号 GB2215909(B) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 GB19890002064 申请日期 1989.01.31
申请人 * GESELLSCHAFT FUER STRAHLEN- UND UMWELTFORSCHUNG MBH 发明人 KLAUS * WITTMAACK
分类号 G01N23/203;G01Q30/04;G01Q30/18;H01J37/252 主分类号 G01N23/203
代理机构 代理人
主权项
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