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发明名称 GLOW-DISCHARGE DECOMPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0165618(B1) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 EP19850107698 申请日期 1985.06.21
申请人 KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAWADA, YOSHIHISA;NAKAYAMA, TAKEHISA;TAI, MASAHIKO;IKUCHI, NOZOMU
分类号 H01L21/20;B09C1/02;C23C16/509;H01J37/32 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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