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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR ETCHING SUBSTRATES WITH A LOW-PRESSURE DISCHARGE ASSISTED BY A MAGNETIC FIELD
摘要
申请公布号 EP0371252(B1) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 EP19890119683 申请日期 1989.10.24
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING.;HENSEL, BERND, DIPL.-ING.
分类号 C23F4/00;H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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