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发明名称
MOLECULAR BEAM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04260690(A)
申请公布日期
1992.09.16
申请号
JP19910017593
申请日期
1991.02.08
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
HIRONO SHIGERU;OSAKA JIRO;INOUE NAOHISA
分类号
C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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