发明名称 ADJUSTING METHOD OF POSITION OF PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH04256331(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910017918 申请日期 1991.02.08
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAGI YUJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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