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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04257239(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910018644 申请日期 1991.02.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIRAISHI MASATOSHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/312;H01L21/60 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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