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发明名称 MICROWAVE PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH04257217(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910018138 申请日期 1991.02.12
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ISHIOKA HISAMICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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