发明名称 VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH04254490(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19910032107 申请日期 1991.01.31
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAMURA TAKAHIRO
分类号 C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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