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发明名称 MATERIAL-SAVING PROCESS FOR PRODUCING CRYSTALLINE SOLID SOLUTIONS
摘要
申请公布号 EP0324812(B1) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 EP19880905675 申请日期 1988.06.30
申请人 AIXTRON GMBH 发明人 JUERGENSEN, HOLGER;GRUETER, KLAUS;DESCHLER, MARC;BALK, PIETER
分类号 B01D7/02;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/205 主分类号 B01D7/02
代理机构 代理人
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