发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH04250667(A) |
申请公布日期 |
1992.09.07 |
申请号 |
JP19910008053 |
申请日期 |
1991.01.28 |
申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UCHIYAMA AKIRA;OCHIAI TOSHIYUKI |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/84;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|