发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04250667(A) 申请公布日期 1992.09.07
申请号 JP19910008053 申请日期 1991.01.28
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UCHIYAMA AKIRA;OCHIAI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/84;H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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