发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04246815(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910011916 申请日期 1991.02.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYATA YASUNARI;TODOKORO HIDEO;ITO HIROYUKI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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