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发明名称
INSULATING FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04245636(A)
申请公布日期
1992.09.02
申请号
JP19910010862
申请日期
1991.01.31
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
FUKUDA HISASHI;YASUDA MAKOTO
分类号
H01L21/318;H01L21/26;H01L21/324
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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