| 发明名称 |
LITHOGRAFISCHE INRICHTING MET EEN HANGENDE OBJECTTAFEL. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL9100202(A) |
申请公布日期 |
1992.09.01 |
| 申请号 |
NL19910000202 |
申请日期 |
1991.02.05 |
| 申请人 |
ASM LITHOGRAPHY B.V. TE VELDHOVEN. |
发明人 |
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| 分类号 |
F16F15/02;F16F15/023;F16F15/04;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
F16F15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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