发明名称 FAILURE-ANALYZING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04243146(A) 申请公布日期 1992.08.31
申请号 JP19910004146 申请日期 1991.01.18
申请人 NEC CORP 发明人 MURASE MASAMICHI
分类号 G01R31/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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