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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04241422(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910018429 申请日期 1991.01.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KINOSHITA YASUSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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