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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04239734(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910006228 申请日期 1991.01.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUZAKI KENICHIRO
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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