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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04239764(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910006278 申请日期 1991.01.23
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NAGATA CHIHIRO
分类号 H01L21/265;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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