发明名称 MARKING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04239145(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910013662 申请日期 1991.01.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA DAISUKE
分类号 H01L21/66;H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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