发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GROWING SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04238898(A) 申请公布日期 1992.08.26
申请号 JP19900415627 申请日期 1990.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO KIYOKO;KUSUKI TOSHIHIRO
分类号 C30B19/00;C30B29/40 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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