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发明名称 SUBSTRATE HEATER
摘要
申请公布号 JPH04238892(A) 申请公布日期 1992.08.26
申请号 JP19910014740 申请日期 1991.01.14
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KOYAMA YOSHIHIRO;OTANI MASAMI
分类号 C30B25/10;H01L21/324 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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