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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH04236771(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19910004715 申请日期 1991.01.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOSEMURA KINSHIRO;KOBAYASHI MASAHIRO
分类号 C23C14/24;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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