发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04237129(A) 申请公布日期 1992.08.25
申请号 JP19910005812 申请日期 1991.01.22
申请人 ASAHI KASEI MAIKURO SHISUTEMU KK 发明人 IMAI HISAYA
分类号 H01L21/265;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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