发明名称 METHOD FOR INSPECTING LSI AUTOMATIC WIRING
摘要
申请公布号 JPH04235676(A) 申请公布日期 1992.08.24
申请号 JP19910001341 申请日期 1991.01.10
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 FUKUDA MACHIKO
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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