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发明名称 SELBSTJUSTIERENDE METALLISIERUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR SELEKTIVEN WOLFRAMABSCHEIDUNG.
摘要
申请公布号 DE3872803(D1) 申请公布日期 1992.08.20
申请号 DE19883872803 申请日期 1988.08.16
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 DEBLASI, JANET MARY;VAN DER PUTTE, PAULUS ZACHARIAS ANTONIUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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