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发明名称
MULTI CHANNEL/PLASMA DISCHARGE END POINT DETECTION SYSTEM AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
JPH04229620(A)
申请公布日期
1992.08.19
申请号
JP19910113631
申请日期
1991.05.20
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
DEIBUITSUDO CHIEN
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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