发明名称 TREATMENT OF SILICON WAFERS IN ORDER TO ACHIEVE CONTROLLED PRECIPITATION PROFILES THEREIN ADAPTED FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 IL99979(D0) 申请公布日期 1992.08.18
申请号 IL19910099979 申请日期 1991.11.07
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS S.P.A. 发明人
分类号 C30B33/02;H01L21/02;H01L21/26;H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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