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经营范围
发明名称
WET-TYPE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04225230(A)
申请公布日期
1992.08.14
申请号
JP19900414114
申请日期
1990.12.26
申请人
NIHON SEMIKONDAKUTAA KK
发明人
ABE HARUO;AKAO HITOSHI
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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