发明名称 DRAM UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE4203565(A1) 申请公布日期 1992.08.13
申请号 DE19924203565 申请日期 1992.02.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKAMURA, HIROSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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