发明名称 METHOD FOR MEASURING FILM THICKNESS OF INSULATION FILM ON SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04223202(A) 申请公布日期 1992.08.13
申请号 JP19900414336 申请日期 1990.12.26
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YAMADA TOSHIO
分类号 G01B7/06;G01N27/22 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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