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发明名称
METHOD FOR MEASURING FILM THICKNESS OF MULTILAYER FILM
摘要
申请公布号
JPH04223210(A)
申请公布日期
1992.08.13
申请号
JP19900406079
申请日期
1990.12.25
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ITO SUSUMU;USUI YOICHI
分类号
G01B15/02
主分类号
G01B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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