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发明名称
摘要
申请公布号
USRE34025(E)
申请公布日期
1992.08.11
申请号
US19900620536
申请日期
1990.11.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06
主分类号
H01L21/761
代理机构
代理人
主权项
地址
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