发明名称
摘要
申请公布号 USRE34025(E) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 US19900620536 申请日期 1990.11.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
地址