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发明名称 MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04219958(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900411991 申请日期 1990.12.20
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KOBAYASHI KENICHI;YAMADA TAKAYUKI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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